微波管式爐是一種結合微波加熱技術與管式爐結構的先進熱處理設備，主要用于材料燒結、煅燒、合成等工藝。
微波管式爐核心功能組成：
1.微波加熱系統(tǒng)
微波源：
通常采用磁控管（如家用微波爐）或更高效的固態(tài)微波源，頻率多為2.45GHz（民用頻段）或915MHz/2.45GHz工業(yè)級配置。
功能：產(chǎn)生高功率微波能量，穿透材料內(nèi)部直接加熱。
諧振腔：
由金屬腔體和模式攪拌器組成，用于均勻分布微波能量，避免熱點。
設計：矩形或圓柱形腔體，支持TE/TM模式電磁波傳播。
微波抑制器：
防止微波泄漏，確保操作安全，符合電磁兼容性（EMC）標準。
2.管式反應腔
石英/氧化鋁管：
耐高溫，耐腐蝕，用于放置樣品或反應氣體。
直徑與長度可定制，支持連續(xù)或分段加熱。
保溫層：
多層陶瓷纖維或碳纖維包裹，減少熱量散失，維持腔內(nèi)溫度均勻性。
3.微波管式爐溫度控制系統(tǒng)
測溫模塊：
紅外測溫儀（非接觸式，實時監(jiān)測樣品表面溫度）或熱電偶（接觸式，需耐高頻干擾）。
PID調(diào)節(jié)：
根據(jù)設定溫度自動調(diào)節(jié)微波功率輸出，實現(xiàn)精準控溫。
均溫設計：
通過旋轉(zhuǎn)托盤、多模腔體或氣流循環(huán)（如惰性氣體吹掃）確保溫度均勻性。
4.氣氛控制系統(tǒng)
氣體輸入：
多路質(zhì)量流量控制器（MFC）精確調(diào)節(jié)反應氣體的流量和比例。
支持還原性、氧化性或惰性氣氛環(huán)境。
尾氣處理：
配備真空泵或排氣風機，排出反應廢氣并過濾（如堿性洗滌塔處理酸性氣體）。
5.傳動與樣品處理系統(tǒng)
推桿/傳送帶：
用于連續(xù)式管爐，實現(xiàn)樣品自動進出料（如粉末壓坯連續(xù)燒結）。
旋轉(zhuǎn)支架：
用于批量處理樣品，通過旋轉(zhuǎn)提高加熱均勻性（如薄膜沉積或涂層處理）。
6.安全防護與監(jiān)控
門體聯(lián)鎖：
微波腔門開啟時自動切斷電源，防止輻射泄漏。
壓力/溫度報警：
超限自動切斷電源并啟動冷卻系統(tǒng)。
觀察窗：
石英或耐高溫玻璃窗口，便于實時觀察腔內(nèi)狀態(tài)。
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